อะลูมิเนียมออกไซด์ผสมสีขาว 15-20um สำหรับการพ่นทรายเปียกของเวเฟอร์ซิลิกอน
หลังจากตัดเวเฟอร์ซิลิกอนแล้ว การพ่นทรายสามารถขจัดชั้นออกไซด์และปรับปรุงความเรียบได้ วิธีการพ่นทรายที่ใช้กันทั่วไปคือการพ่นทรายแบบไมโครเปียก สื่อการพ่นสำหรับการใช้งานนี้คือผงอะลูมิเนียมออกไซด์หลอมรวมสีขาว 15-20um
ผงอะลูมิเนียมออกไซด์หลอมรวมสีขาวได้รับการแปรรูปอย่างละเอียดจากอะลูมินาหลอมรวม โดยมีขนาดอนุภาคที่สม่ำเสมอและมีประสิทธิภาพในการบดสูง ในเวลาเดียวกัน ผง WFA 15-20um จะถูกทำให้แห้งผ่านการตกตะกอนล้น ดังนั้น จึงมีการไหลที่ดีโดยไม่มีการเกาะกลุ่มหรือจับตัวเป็นก้อน
องค์ประกอบทางเคมีของอะลูมิเนียมออกไซด์หลอมขาว 15-20um:
| รายการ | มูลค่ารับประกัน(%) | ค่าทั่วไป(%) |
| Al2O3 | ≥99.2 | 99.55 |
| Fe2O3 | ≤0.04 | 0.02 |
| ซิโอ2 | ≤0.20 | 0.11 |
| Na2O | ≤0.30 | 0.22 |
| เอ็มจีโอ | ≤0.05 | 0.04 |
| สูง | ≤0.05 | 0.03 |
| เคทูโอ | ≤0.05 | 0.04 |
คุณสมบัติทางกายภาพ:
| น้ำหนักเฉพาะ | ความแข็ง | ค่า pH | จุดหลอมเหลว |
| 3.95 ก./ซม. 3 | มาตราโมห์ส 9.0 | 7-9.5 | 2050℃ |
การกระจายขนาดอนุภาค (เครื่องวิเคราะห์เลเซอร์ LS609) :
| ขนาด | อะลูมิเนียมออกไซด์ผสมสีขาว 800 เมช | อะลูมิเนียมออกไซด์ผสมสีขาว 1,000 เมช |
| D10 | ≥10 หนอ | ≥8 อืม |
| ดี50 | 18-21 หนึ่ง | 14-17 หนึ่ง |
| D90 | ≤33 หนอ | ≤28 หนอ |
