ผงขัดเวเฟอร์ซิลิคอน

เวเฟอร์หมายถึงเวเฟอร์ซิลิคอนที่ใช้ในการผลิตวงจรรวมเซมิคอนดักเตอร์ ซิลิคอนเวเฟอร์สามารถแปรรูปเป็นโครงสร้างองค์ประกอบวงจรต่างๆ การเลือกผงขัดที่เหมาะสมเป็นสิ่งสำคัญมาก

การเจียร ขัดเงา และการทำให้บางของเวเฟอร์ซิลิกอนโมโนคริสตัลไลน์เป็นกระบวนการที่สำคัญสำหรับการประมวลผลซิลิคอนเวเฟอร์ หลังจากตัดเวเฟอร์แล้วพื้นผิวจะมีความเสียหายจากการตัดและรอยขีดข่วน งานขัดนั้นเป็นกระบวนการขัดที่แม่นยำ

โดยทั่วไปผงอะลูมิเนียมออกไซด์สีขาว 1200 mesh, 1500 mesh และ 2000 mesh เป็นวัสดุสำหรับบดเป็นผงขัดซิลิคอนเวเฟอร์ ผลการขัดค่อนข้างดี พื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์ซิลิกอนไม่มีรอยขีดข่วนและสามารถเข้าถึงความขรุขระของพื้นผิวได้ 10-20um นั่นทำให้การเตรียมการสำหรับการขัดเงากระจกของการเจียรพื้นผิวแผ่นเวเฟอร์ซิลิกอน

ผงอะลูมิเนียมออกไซด์สีขาวจาก Haixu Abrasives มีลักษณะของขนาดอนุภาคที่สม่ำเสมอ (ผลลัพธ์ PSD ที่ดี) ความแข็งสูงและความบริสุทธิ์สูง ซึ่งหลีกเลี่ยงข้อเสียของอนุภาคขนาดใหญ่ที่ทำลายพื้นผิวในการเจียรและขัดเงา